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主要特性与技术指标电流-电压测量功能
0.1 fA – 1 A 和 0.5 µV – 200 V 精准测量范围
点测量和扫描测量功能
脉冲点测量和扫描测量,最小脉宽达 500 µs
ASU(自动传感和开关单元)可以与 HRSMU 配合使用,提供 0.1 fA 的测量分辨率和 SMU/AUX 路径切换
EasyEXPERT group+ 软件
表征环境可以在用户 PC 上使用
直观的图形用户界面(GUI)操作,支持键盘和鼠标
多种测量模式,实现快速设置和测量执行(应用测试、典型测试和快速测试)
图形显示和自动分析功能,能够生成数据并导入 Excel 和图像以便分析和报告
E5270B 硬件
测量模块可升级至 8 插槽配置
可选择高分辨率 SMU(HRSMU)、中等功率 SMU(MPSMU)和大功率 SMU(HPSMU)进行配置。支持选件 ASU 用于 HRSMU
高分辨率和高速模数转换器(ADC)可以用于所有已安装的模块
主机中配备有源接地单元(GNDU),以施加 0 V 电压和吸收高达 4 A 的电流
描述Keysight E5270B 精密型 IV 分析仪是适合对各种材料和器件进行电流-电压表征的完整解决方案。E5270B 支持多个 SMU(电源/监测单元),能够执行电压/电流供应和电压/电流测量,且具有最小 0.1 fA 的领先电流测量性能。其模块化体系结构使您可以利用 8 个插槽配置或升级 SMU 模块。图形用户界面的 EasyEXPERT group+ 表征软件可以安装在您的 PC 上,以支持表征中要求的所有任务,例如测量设置和数据分析。SMU 全面的测量功能与 GUI 表征软件强强组合,使 E5270B 成为表征和测试器件、材料、半导体、有源/无源器件或几乎任何其他类型电子器件的最佳解决方案,并且提供无与伦比的测量可靠性和效率。
Keysight EasyEXPERT group+ 软件支持在整个表征过程中(从测量设置和执行到结果分析和数据管理),通过交互式的手动操作或借助半自动晶圆探头的自动操作,在整个晶圆上实施高效和可重复的器件表征。EasyEXPERT group+ 配备了许多易于使用的测量(应用测试),使您可以快速而轻松执行电流-电压表征,并可以选择在每次测量结束后将测试条件和测量数据自动保存到独有的内置数据库(工作区)中,以确保不会遗失重要的信息和在日后能够重复执行该测量。凭借这些全面的测量功能,Keysight E5270B 提供了一款完整的电流-电压表征解决方案。
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